感應(yīng)爐 SICG6-S01

產(chǎn)品介紹

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)對(duì)比

感應(yīng)爐 SICG6-S01

單石英管SiC長(zhǎng)晶爐，擁有簡(jiǎn)易的結(jié)構(gòu)，更小的設(shè)計(jì)空間，合理的冷卻時(shí)間。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

AGV智能料車(chē)進(jìn)料系統(tǒng)

有效減少人力成本。
提高上料精度。

全新逆流工藝

實(shí)現(xiàn)壓力精度控制±0.3Pa

注：即將推出

先進(jìn)技術(shù)

軸徑分離技術(shù)

注：?jiǎn)我粻t型不一定涉及全部技術(shù)，僅供參考，詳情歡迎致電恒普

【軸徑分離】技術(shù)應(yīng)用于電阻式長(zhǎng)晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現(xiàn)象。調(diào)整軸向溫度梯度，提升晶體生長(zhǎng)速度，徑向溫度梯度也隨之發(fā)生改變，從而導(dǎo)致晶體生長(zhǎng)界面的凹凸變化、應(yīng)力增加，使得晶體缺陷增加。電阻式長(zhǎng)晶爐通過(guò)不同區(qū)域的電阻發(fā)熱，達(dá)到籽晶區(qū)域和源料區(qū)域的溫度分別控制，達(dá)到軸向溫度梯度與徑向溫度梯度分離，從而穩(wěn)定晶體生長(zhǎng)面型的同時(shí)能夠大幅度提高晶體生長(zhǎng)速度。

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