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探索碳化硅生長新未來

恒普資訊

新一代sic晶體生長用材料

隨著導(dǎo)電型SiC襯底的逐漸量產(chǎn),對工藝的穩(wěn)定性、可重復(fù)性都提出更高的要求。特別是缺陷的控制,爐內(nèi)熱場微小的調(diào)整 […]

2023-05-04
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