感應爐 SICG6-M07
水冷夾套式金屬腔體SiC長晶爐，線圈與熱場沒有間隔，發熱效率高且改變熱場靈活。采用固定線圈，坩堝移動的方式來達成工藝的穩定執行。在滿足了長晶需求的同時，更低的制造成本，使其在長晶效果和設備成本上達到一個較高的性價比。
產品優勢
6英寸與8英寸可調
- 采用可置換線圈設計，爐殼同時滿足6英寸及8英寸設計，可以在生產發展中實現設備的技術提升
下爐蓋托盤升降
- 可有效降低溫度衰減率
- 校準操作簡單、便捷
先進技術
軸徑分離技術
注：單一爐型不一定涉及全部技術，僅供參考，詳情歡迎致電恒普
【軸徑分離】技術應用于電阻式長晶爐徹底解決軸徑方向上的溫度耦合現象。調整軸向溫度梯度，提升晶體生長速度，徑向溫度梯度也隨之發生改變，從而導致晶體生長界面的凹凸變化、應力增加，使得晶體缺陷增加。電阻式長晶爐通過不同區域的電阻發熱，達到籽晶區域和源料區域的溫度分別控制，達到軸向溫度梯度與徑向溫度梯度分離，從而穩定晶體生長面型的同時能夠大幅度提高晶體生長速度。
工具包
先進材料
恒普為客戶提供長晶材料的一站式解決方案
碳化鉭涂層
碳化硅涂層
多孔石墨
保溫氈等工具
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水冷夾套式金屬腔體SiC長晶爐，線圈與熱場沒有間隔，發熱效率高且改變熱場靈活。采用固定線圈，坩堝移動的方式來達成工藝的穩定執行。在滿足了長晶需求的同時，更低的制造成本，使其在長晶效果和設備成本上達到一個較高的性價比。
- 長晶方式PVT
- 加熱平臺感應加熱
- 長晶速度0.1-0.2mm/h
- 長晶尺寸6 inch
- 長晶高度15-25mm
- 線圈類型N/A